MEMS芯片交付仪式现场

大江新闻讯 全媒体记者查婧雨报道：6月14日，南昌大学际銮书院里掌声与惊叹声不断。首届中微实验班（2023级）的全体同学，在这一天迎来了他们大学生涯最“硬核”的期末作业交付——每人领到了一枚完全由自己独立设计、并真正在工艺线上流片成功的MEMS芯片。薄薄的硅片被妥善封装在陶瓷管壳中，指尖大小的微光里，刻着属于他们自己的“芯”故事。

“我们的期末作业，是要真正上生产线流片的。”当同学们回忆起数月前第一次听到这个课程目标时，那种既兴奋又忐忑的心情，在交付仪式上全都化成了自豪。与普通课堂作业只停留在软件仿真不同，这场“一颗真芯”的挑战从一开始就指向真实的工程世界——没有任何“差不多”可言，微米级的设计偏差，都会在几十道工序中被放大。

在导师的指导下，这群大三学生硬着头皮啃下了机械、电子、材料等多学科交叉理论。他们现学现用SolidWorks等工程软件，反复推演复杂的力学模型与电磁仿真，每一个看似枯燥的参数都曾让他们纠结到深夜。直到最终，每个人都在电脑上完成了高精度的光刻版图（GDSII）绘制。

如果图纸仅仅停留在硬盘里，那始终只是一份作业。为了让同学们的设计真正“活”起来，中微半导体设备（上海）股份有限公司提供了专项资金支持，让这些版图直接进入工艺线流片。光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、释放、划片、封装……在超净车间里，这群本科生绞尽脑汁设计的微结构，逐一承受住了几十道严苛工序的淬炼。际銮书院也提供专项支持，把课堂作业真真切切地写在了硅片上。

学生正在检查芯片加工情况

流片期间，同学们分批走进实验室，趴在显微镜前检查自己那颗正在加工中的芯片。“最难的是把想法变成真正能加工的结构。”中微实验班2023级学生胡鸿博摩挲着刚刚拿到手的芯片对记者说，“很多设计在仿真里看起来可行，但到了版图绘制和工艺约束环节，就需要一遍遍调整。拿到芯片的那一刻，感觉之前所有修改都值得了。”

学生正在取芯

当封装完成、一枚枚芯片被逐一交付到学生手中时，现场的气氛被推向了顶点。这一刻，所有的努力都变成了无可替代的震撼与骄傲——这是他们人生中第一枚由自己设计并成功流片的芯片。

完成加工的MEMS晶圆

“在本科阶段实现全员MEMS芯片独立设计与成功流片，是对学生多学科交叉知识储备、工程实践素养及解决复杂工程问题能力的极佳检验。”课程主讲教师、特聘教授夏长锋在现场同样难掩激动，他坦言希望以此切实激发青年学子投身高端微纳制造与半导体产业的内生动力与科技报国情怀。

据了解，中微实验班是南昌大学与中微半导体设备（上海）股份有限公司合作，面向芯片制造设备与加工工艺前沿设立的特色实验班。此次“一颗真芯”活动，不仅是一次难忘的专业实践，更是从知识到成果、从兴趣到能力的完整成长。一颗芯片连接起课堂与工程，一次流片见证着学习与创造。对于这群本科生而言，这枚“真芯”，将成为他们未来继续探索芯片领域最特别的起点与纪念。

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审校：涂金凤、陈小赤、徐钰璇